CINNO research产业资讯，2023年12月14日-环球最初的纳米电子、数字本领筹商和立异中心Imec与日智商先的化学公司和EUV薄膜供应商通知，驱动就极紫外光刻用碳纳米管（CNT）基薄膜（Pellicle）的买卖化成就计谋合作伙伴关系。说明这一合作伙伴关系，三井化学将把imec的碳纳米管基薄膜立他乡整合到其现存碳纳米管薄膜本领中，以成就齐全的分娩规格。这一合作的指标是在2025-2026年将其用于大功率EUV系统的制造中开云kaiyun官方网站，两边的签约典礼在东京举行的Semicon Japan 2023上举行。

据先容，合作伙伴两边打算通过相干征询和imec的EUV扫描拓荒考证，共同开发EUV薄膜，以便在三井化学公司进行买卖化。这种薄膜不错保护光掩模在EUV曝光经由中免受浑浊，它具有极高的EUV透射率（≥94%）、极低的EUV反射率和最小的光学影响——这些是先进半导体制造工艺中竣事高产量和高良率分娩的关节特色。CNT薄膜约略承受越过1kW的EUV功率水平，约略复旧竣事未来EUV光源的指标功率（>600W）。鉴于这些上风，这种碳纳米管基薄膜，引起了盛大但愿在其无数目制造经由中使用EUV光刻本领的公司的热烈兴致。在这么的市集布景下，上述合作伙伴两边但愿通过共同开发稳健行业的CNT薄膜，以称心市集需求。

“Imec在复旧半导体生态系统股东光刻本领发展方面有着悠久的历史。自2015年以来，咱们与通盘这个词供应链的合作伙伴合作，开发了一种立异的基于CNT的薄膜瞎想，用于先进的EUV光刻，”Imec高等图案化、工艺和材料高等副总裁Steven Scheer暗示：“咱们投诚，公司对CNT膜的测量、表征和参数性能方面的真切了解将加快三井化学的居品开发。咱们但愿共同将CNT膜过问买卖分娩，用于未来几代EUV光刻系统的构建。”

从上述光刻本领的蹊径图看出，市集瞻望在2025-2026年会推出新的薄膜，即下一代ASML 0.33NA EUV光刻系统，复旧600W及更高功率水平的光源。该时刻与越过2nm逻辑本领节点的插入相干联。

对于imec

Imec是环球最初的纳米电子、数字本领筹商和立异中心。该筹商中心专揽其开始进的研发基础措施过火5500多名职工和顶尖筹商东说念主员的团队。除了先进半导体、硅光子学、东说念主工智能、5G通讯和传感本领以外，他们还戮力于健康和生命科学、移动、工业4.0、农居品、智能城市、可执续能源等盛大应用范围的研发。Imec将半导体价值链、佛兰德斯和海外科技、制药、医疗和ICT公司、初创企业、学术界和常识中心的宇宙行业诱骗者互助在一说念。Imec的总部位于鲁汶（比利时），在比利时、荷兰和好意思国设有筹商机构，并在三大洲设有代表处。2022年，imec的收入（P&L）谋划8.46亿欧元。

对于三井化学

三井化学的发源不错回想到1912年，其时该公司开始在日本驱动用煤气副居品分娩化肥原材料。这项办事大大升迁了农业分娩力，它是其时的一个主要社会问题。其后，该公司将其本领从煤化工发展到自然气化工，并于1958年建造了日本第一个石化都集企业，从而为日本工业的快速发展提供了能源。如今，该公司领有好多宇宙级的居品，销售额越过16000亿日元，在30个国度领有160多家公司。其业务组合包括生命与医疗保健贬责决策、移动贬责决策、ICT贬责决策、基础与绿色材料。

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